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進口AS金剛石砂輪用于外延晶圓-由碳化硅、硅和多晶硅制成
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進口AS金剛石砂輪用于外延晶圓-由碳化硅、硅和多晶硅制成：
Meister Abrasives已經(jīng)開發(fā)了一系列的砂輪和技術，用于生產(chǎn)用于外延的優(yōu)質(zhì)晶圓，這些晶圓由碳化硅（SiC）、硅（Si）和多晶硅（poly-Si）制成。我們的研磨工具還可以輕松處理其他材料，包括藍寶石（Al2O3）、氮化鎵（GaN）、磷化銦（InP）、砷化鎵（GaAS）、鈮酸鋰（LiNbO3）、鉭酸鋰（LiTa）和極其堅硬的陶瓷。
德國AS金剛石砂輪切割直徑：
Meister Abrasives 的 CleanCut (CC) DIA 磨輪是一種創(chuàng)新的解決方案，采用混合玻璃-金屬粘結(jié)技術，用于 SiC 晶圓的粗磨或粗加工。CC DIA 磨輪在單次標準粗磨切割中可以實現(xiàn)小于 2 µm 的總厚度變化 (TTV)，同時表現(xiàn)出較低的輪磨損率。
德國AS金剛石砂輪DIA技術：
使用UltraFine (UF) DIA 玻璃粘結(jié)技術的砂輪是精密研磨解決方案的**。Meister Abrasives的UF DIA解決方案能夠在預研磨的基板上獲得適合化學機械拋光 (CMP) 的表面。憑借同類佳的總厚度偏差 (TTV) 值，表面質(zhì)量在單數(shù)字埃米范圍內(nèi)得以實現(xiàn)。創(chuàng)新的UF DIA砂輪技術使主要晶圓和器件制造商能夠?qū)⒕A準備步驟縮短至少。達到的超光滑表面輪廓使制造商能夠避免使用金剛石懸浮液的成本，大幅降低CMP成本，并顯著提高產(chǎn)量。
Meister Abrasives 的 CleanCut 和 UltraFine 粘結(jié)系統(tǒng)的獨特組合在 SiC 基板上實現(xiàn)了拋光級表面，使 SiC 制造商能夠更**、更經(jīng)濟地生產(chǎn)用于外延的優(yōu)質(zhì)晶圓。
德國AS金剛石砂輪應用：
激光切割或線鋸切割的碳化硅晶圓的研磨
使用Meister Abrasives的綜合解決方案，現(xiàn)在可以輕松地在通過激光切割或線鋸技術切割的大尺寸SiC晶圓上獲得CMP就緒表面。為了將輪子的磨損降至低，Meister的CleanCut DIA技術使用了優(yōu)化的混合粘結(jié)劑，適用于激光切割或線鋸的SiC表面。接著使用Meister的UltraFine (UF6) DIA技術，該技術使用特殊鉆石在粘結(jié)劑中，從而輕松實現(xiàn)CMP就緒表面。這大大減少了CMP拋光的 effort。
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