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壓電物鏡掃描器
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壓電物鏡掃描器
壓電陶瓷管掃描器
工作方式及原理
壁厚比較薄、徑向極化、外壁四個電極、內(nèi)壁一體或者分區(qū)電極的壓電陶瓷管，當外部施加一個正電壓到某一個區(qū)域時，陶瓷管垂直方向收縮，使陶瓷管頂部產(chǎn)生比較大的傾斜，同時施加電壓會使陶瓷軸向或徑向膨脹和收縮。
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