射頻濾波器發(fā)展至今,基本主要有兩種構(gòu)型,其中,一類是SAW濾波器(聲表面波,Surface Acoustic Wave),另一類是BAW濾波器(體聲波,Bulk Acoustic Wave),而BAW濾波器又可細(xì)分為SMR(固態(tài)裝配諧振器,Solidly Mounted Resonator)和FBAR(薄膜腔諧振器,Film Bulk Acoustic Resonator)4-6。目前市場主流的濾波器是SAW(聲表面波濾波器)、BAW(體聲波濾波器)和FBAR(薄膜腔聲諧振濾波器)。半導(dǎo)體拋光液、射頻濾波器拋光液是其中一道工藝流程。
隨著5G通信技術(shù)革新浪潮興起,對于國內(nèi)射頻濾波器公司而言,發(fā)展濾波器技術(shù)順?biāo)浦,具備充分的勢能,后續(xù)有望慢慢打破國外壟斷,發(fā)展出自己的專利技術(shù)。
在射頻濾波器中有道“拋光”流程,需要用到CMP拋光技術(shù),其中的耗材如CMP拋光液、拋光墊等,需要從國外采購。隨著國內(nèi)半導(dǎo)體事業(yè)發(fā)展飛速,很多物料遭受國外卡脖子限制,射頻濾波器拋光液的采購過程艱難,不僅價格高交期久,國外廠商故意斷供的風(fēng)險也是存在的。所以國產(chǎn)替代進口迫在眉睫,是掙脫束縛的途徑。
吉致電子25年內(nèi)致力研發(fā)cmp拋光耗材,獲得多項CMP拋光液專利技術(shù)。吉致電子的CMP化學(xué)機械拋光液無論是RR、dishing、range等效果都是不錯的,對于si和psg的選擇比也是很好,**替代CABOT D3586的slurry。已為國內(nèi)不少射頻濾波器廠家提供cmp拋光液及技術(shù),累計了很多優(yōu)質(zhì)的半導(dǎo)體客戶。吉致電子的國產(chǎn)射頻濾波器拋光液在國內(nèi)生產(chǎn)銷售,比海外采購成本低,且有工程師駐廠指導(dǎo)解決工藝難題更適合中國的視頻濾波器廠家。
無錫吉致電子科技有限公司
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此文關(guān)鍵字:射頻濾波器拋光液 半導(dǎo)體拋光液 SAW濾波器拋光液 BAW濾波器拋光液 FBAR濾波器拋光液
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