真空電鍍時產(chǎn)生掉膜的原因很多也很復(fù)雜。處理起來很棘手,可以考慮從以下幾個方面排除:
一:表面清潔度
產(chǎn)品表面潔凈度不夠,可以考慮離子源清洗時氬氣放大、時間長點。
二:清洗過程中的問題
鍍前清洗不到位,或更換了清洗液。
三:工藝的問題
工藝參數(shù)是否有變動,在鍍膜時間和電流上做適當調(diào)整。
四:靶材的問題
鈦靶是否中毒,檢查和更換。
五:真空腔是否漏氣
進行一次撿漏。
六:產(chǎn)品表面氧化
氧化的原因很多,可以自行判斷處理。