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等離子廢氣處理設(shè)備又稱(chēng)低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
　　凈化機(jī)理
　　等離子體化學(xué)反應(yīng)過(guò)程中，等離子體傳遞化學(xué)能量的反應(yīng)過(guò)程中能量的傳遞大致如下：
　　(1)電場(chǎng)+電子→電子
　　(2)電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團(tuán)、游離基團(tuán))活性基團(tuán)
　　(3)活性基團(tuán)+分子(原子)→生成物+熱
　　(4)活性基團(tuán)+活性基團(tuán)→生成物+熱
　　從以上過(guò)程可以看出，電子先從電場(chǎng)獲得能量，通過(guò)激發(fā)或電離將能量轉(zhuǎn)移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發(fā)，同時(shí)有部分分子被電離，從而成為活性基團(tuán)；之后這些活性基團(tuán)與分子或原子、活性基團(tuán)與活性基團(tuán)之間相互碰撞后生成穩(wěn)定產(chǎn)物和熱。另外，電子也能被鹵素和氧氣等電子親和力較強(qiáng)的物質(zhì)俘獲，成為負(fù)離子。這類(lèi)負(fù)離子具有很好的化學(xué)活性，在化學(xué)反應(yīng)中起著重要的作用。
　　凈化原理
　　低溫等離子體技術(shù)處理污染物的原理為：在外加電場(chǎng)的作用下，介質(zhì)放電產(chǎn)生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發(fā)，然后便引發(fā)了一系列復(fù)雜的物理、化學(xué)反應(yīng)，使復(fù)雜大分子污染物轉(zhuǎn)變?yōu)楹?jiǎn)單小分子物質(zhì)，或使有物質(zhì)轉(zhuǎn)變或的物質(zhì)，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產(chǎn)生的電子平均能量在10ev，適當(dāng)控制反應(yīng)條件可以實(shí)現(xiàn)一般情況下難以實(shí)現(xiàn)或速度很慢的化學(xué)反應(yīng)變得。作為環(huán)境污染處理中的一項(xiàng)具有強(qiáng)潛在優(yōu)勢(shì)的，等離子體受到了相關(guān)學(xué)科界的度關(guān)注。
　　凈化方法
　　等離子廢氣凈化器采用了的吸附-分解-碳化離心式抽風(fēng)安裝工藝技術(shù),采用模塊等優(yōu)點(diǎn),是一種干法處理廢氣的凈化設(shè)備。它改變了使用活性碳材料的工藝技術(shù),無(wú)需處理原料,無(wú)需專(zhuān)人負(fù)責(zé),不產(chǎn)生二次污染,換及維護(hù)保養(yǎng)方便。
　　低溫等離子體是繼固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)之后的物質(zhì)第四態(tài)，當(dāng)外加電壓達(dá)到氣體的放電電壓時(shí)，氣體被擊穿，產(chǎn)生包括電子、各種離子、原子和自由基在內(nèi)的混合體。放電過(guò)程中雖然電子溫度很，但重粒子溫度很低，整個(gè)體系呈現(xiàn)低溫狀態(tài)，所以稱(chēng)為低溫等離子體。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在短的時(shí)間內(nèi)發(fā)生分解，并發(fā)生后續(xù)的各種反應(yīng)以達(dá)到降解污染物的目的。一般氣體放電，將會(huì)產(chǎn)生等離子，而這種放電現(xiàn)像就是通過(guò)某種機(jī)制使一個(gè)或者多個(gè)電子從氣體原理或分子中分離出來(lái)，形成氣體媒質(zhì)，這種媒質(zhì)就稱(chēng)為電離氣體，如果外電場(chǎng)產(chǎn)生了電離氣體，傳導(dǎo)電流就形成了，這種現(xiàn)象就被稱(chēng)為氣體放電。而這種凈化設(shè)備的技術(shù)，就是工業(yè)廢氣處理的一種原理。